ฟิล์มบาง (thin films) หมายถึง ชั้นของอะตอม หรือ กลุ่มของอะตอมที่จับรวมกันเป็นชั้นบางๆ บนวัสดุรองรับ หรือ แผ่นฐาน ส่วนใหญ่จะเตรียม หรือ เคลือบ ด้วยกระบวนการเคลือบในสุญญากาศ