โดยทั่วไปเราอาจแบ่งประเภทของเครื่องสูบสุญญากาศได้เป็น 2 ประเภท คือ

• ประเภทที่มีการสูบ หรือ ดึงโมเลกุลแก๊ส ออกจากบริเวณปิดที่ต้องการสร้างภาวะสุญญากาศโดยตรง ตัวอย่างเช่น Rotary pump, Diffusion pump, Turbo molagular pump เป็นต้น
• ประเภทที่ใช้เทคนิคการจับโมเลกุลของแก๊สให้เกาะหรือติดอยู่ภายในบริเวณจำกัด เพื่อลดจำนวนโมเลกุลแก๊สภายในบริเวณปิดที่ต้องการสร้างภาวะสุญญากาศ กรณีนี้จะทำให้ความดันในภาชนะหรือบริเวณที่ต้องการสร้างภาวะสุญญากาศมีความดันลดลง ตัวอย่างเช่น Cryogenic pump, Sputter ion pump เป็นต้น