ห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบาง รับการสนับสนุนทุนวิจัยจากแหล่งทุนต่างๆ หลายแหล่ง

• งบประมาณแผ่นดิน/งบประมาณรายได้ มหาวิทยาลัยบูรพา
• สำนักงานกองทุนสนับสนุนการวิจัย
• สถาบันไทย-เยอรมัน
• ศูนย์นาโนเทคโนโลยีแห่งชาติ
• บริษัท บางกอก แอสเสย์ ออฟฟิส จำกัด
• บริษัท เอสซอม จำกัด
• บริษัท เบทเทอร์ มาชีนเนอร์รี จำกัด