การเคลือบด้วยกระบวนการระเหยสาร เป็น เทคนิคการเคลือบแบบหนึ่งของ PVD

อาศัยหลักการให้ความร้อนแก่สารเคลือบจนกลายเป็นไอ แล้วระเหยไปจับชิ้นงานหรือวัสดุที่ต้องการเคลือบ

การให้ความร้อนแก่สารเคลือบทำได้หลายวิธี เช่น ใช้ลวดร้อน หรือ ใช้ลำอิเล็กตรอน ก็ได้

การเคลือบเทคนิคนิยมใช้ในทางอุตสาหกรรม เนื่องจาก ราคาโดยรวมของเครื่องเคลือบไม่สูงมากนัก และขั้นตอนกระบวนการเคลือบไม่ซับซ้อนมากนัก