วัดถุประสงค์หลักข้อสำคัญของห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางคือ การวิจัยและพัฒนาเพื่อสร้างองค์ความรู้ที่เป็นพื้นฐานของการเคลือบในสุญญากาศครอบคลุมทั้ง 2 ด้าน คือ เทคโนโลยีสุญญากาศ และ เทคโนโลยีฟิล์มบาง เพื่อทดแทนการนำเข้าเทคโนโลยีนี้จากต่างประเทศ อีกทั้งยังเพื่อสร้างศักยภาพในการแข่งขันกับต่างประเทศด้านการเคลือบในสุญญากาศ

ส่วนนี้เป็นผลงานการวิจัยและพัฒนาด้านการเคลือบในสุญญากาศของห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบาง ซึ่งแบ่งออกเป็น 2 กลุ่มใหญ่ ดังนี้คือ

• เทคโนโลยีสุญญากาศ
• เทคโนโลยีฟิล์มบาง