บุคลากรของห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางมีการปรับเปลี่ยนไปในแต่ละช่วงเวลา ทั้งในส่วนของ อาจารย์ นักวิจัย เจ้าหน้าที่ และ นิสิต

บุคลากรหลักที่เป็นผู้ก่อตั้งห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางคือ

รศ.ดร.สุรสิงห์ ไชยคุณ ผศ.ดร.นิรันดร์ วิทิตอนันต์ อ.สกุล ศรีญาณลักษณ์

จนถึงปัจจุบัน ห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางมีบุคลากรในส่วนต่างๆ ดังนี้

• อาจารย์     3 คน
• นักวิจัย      1 คน
• เจ้าหน้าที่  4 คน
• นักเรียน     3 คน  (ป.ตรี 9 คน, ป.โท 2 คน)
• ศิษย์เก่า    4 คน