คณะผู้วิจัยตระหนักถึงความสำคัญของเทคโนโลยีนี้ที่มีต่อการพัฒนาประเทศ จึงเริ่มทำการศึกษาวิจัยและเตรียมความพร้อม ด้านเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางตั้งแต่ปี พ.ศ.2536 จนสามารถออกแบบและสร้างชิ้นส่วน อุปกรณ์ด้านสุญญากาศที่ จำเป็นขึ้นใช้เองเพื่อทดแทนการนำเข้า ตลอดจนสามารถสร้างเครื่องเคลือบฟิล์มบางในสุญญากาศด้วยวิธีสปัตเตอริงสำเร็จใน ปี พ.ศ.2541 ต่อมาได้จัดตั้ง “ห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบาง (Vacuum Technology and Thin Films Research Laboratory ; VTTF)” เพื่อทำวิจัยและพัฒนาด้านเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางโดยเฉพาะ
สำหรับแนวทางการวิจัยและพัฒนาของห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางจะมุ่งเน้นใน 3 ด้านหลัก ดังนี้คือ ด้านฟิสิกส์และเทคโนโลยีสุญญากาศ (Physics and Technology of Vacuum) ด้านฟิสิกส์และเทคโนโลยีฟิล์มบาง (Physics and Technology of Thin Films) และด้านการประยุกต์ใช้เทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบาง (Application of Vacuum Technology and Thin Films) นอกจากนี้ยังจัดให้มีหน่วยบริการวิชาการแก่หน่วยงานและบุคคลที่สนใจทั่วไป