การวิจัยและพัฒนาด้านเทคโนโลยีสุญญากาศ: เน้นการวิจัยและพัฒนาเพื่อออกแบบและสร้าง ชิ้นส่วนอุปกรณ์พื้นฐานในงานสุญญากาศ โดยเน้นการใช้วัสดุในประเทศเป็นหลักเพื่อทดแทนการนำเข้าจากต่างประเทศ แบ่งเป็น

การวิจัยและพัฒนาด้านเทคโนโลยีฟิล์มบาง: เน้นการศึกษาวิจัยเกี่ยวกับฟิสิกส์ของฟิล์มบาง ซึ่งครอบคลุมตั้งแต่กระบวนการเตรียมฟิล์มบาง ตลอดจนการศึกษาสมบัติและลักษณะเฉพาะของฟิล์มบางเพื่อนำมาประยุกต์ใช้งานด้านต่างๆ สำหรับฟิล์มบางที่ศึกษาวิจัยแบ่งเป็น 4 กลุ่ม ได้แก่