ห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบาง ตั้งขึ้นในปี พ.ศ.2541 จากความร่วมมือของอาจารย์ภาควิชาฟิสิกส์ คณะวิทยาศาสตร์ มหาวิทยาลัยบูรพา ที่มีความสนใจเกี่ยวกับเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบาง 3 ท่าน ได้แก่ รศ.สุรสิงห์ ไชยคุณ ผศ.นิรันดร์ วิทิตอนันต์ และ อ.สกุล ศรีญาณลักษณ์ ซึ่งได้เริ่มศึกษาวิจัยและเตรียมความพร้อมด้านเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางตั้งแต่ปี พ.ศ.2536 จนสามารถออกแบบสร้างชิ้นส่วนอุปกรณ์ด้านสุญญากาศที่จำเป็นขึ้นใช้เอง เพื่อทดแทนการนำเข้าจากต่างประเทศ ตลอดจนสามารถออกแบบและสร้างเครื่องเคลือบฟิล์มบางในสุญญากาศด้วยวิธีสปัตเตอริงสำเร็จใน  ปี พ.ศ.2540

สำหรับแนวทางการวิจัยและพัฒนาของห้องปฏิบัติการวิจัยเทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบางจะมุ่งเน้นใน 3 ด้านหลัก ดังนี้คือ ด้านฟิสิกส์และเทคโนโลยีสุญญากาศ (Physics and Technology of Vacuum) ด้านฟิสิกส์และเทคโนโลยีฟิล์มบาง (Physics and Technology of Thin Films) และด้านการประยุกต์ใช้เทคโนโลยีสุญญากาศและฟิล์มบาง (Application of Vacuum Technology and Thin Films)  นอกจากนี้ยังจัดให้มีหน่วยบริการวิชาการแก่หน่วยงานและบุคคลที่สนใจทั่วไป